医用铅玻璃薄膜的制备采用喷雾热解法,一层Siq薄膜喷雾热解用溶液以硅酸乙酯(C2H50)4Si)为出发原料,乙醇(EtOH)为溶剂,以H20和HNO3为催化剂,(C2H50)4Si
:EtOH: H20: HNO3 =1:20:4:0.01。第二层F.
Sb掺杂SnO2薄膜喷雾用溶液的制备方法同第3章,第三层Ti02-SiO2复合薄膜用溶液的制备如图4-2所示,其中钦酸丁醋与乙醇的摩尔比为1:30(Ti02:
EtOH),乙酞丙酮为络合剂。为了提高TiO2的亲水效果,把TiO2溶胶与SiO2溶胶按摩尔比为6:4
(Ti02:SiO2)的比例配成复合溶胶,最后得到透亮的橙黄色溶胶作为喷涂溶液。
铅玻璃厂家发现,采用建筑用陶瓷板(砖),同样沉积镀膜工艺条件下,薄膜方阻远远小于在玻璃基板上的方阻,约降低近一个数量级。由此证实,铅玻璃基板中的碱性离子(Na+,
K+)扩散进入SnO2膜内导致方阻增大。
为此,引入Si02作为镀膜层与玻璃基板间的扩散阻挡隔离层(约30nm左右),作对比实验。图4-3为Si02衬底阻挡层薄膜及无阻挡层薄膜的热稳定性对比。实验中,同样沉积条件下,引入Si02扩散阻挡层后,薄膜方阻降低约I倍,且薄膜的热稳定性在<500度的情况下,有较大改善。说明Si02扩散阻挡层能够在一定程度上阻挡玻璃基板中的碱性离子((Na十、x+)扩散进入Sn02膜,改善薄膜的电导率和提高薄膜的热稳定性,引入该隔离层对镀膜玻璃用于钢化、热弯等后续热处理工艺或用于电加热器件等应用有利。
|